碳化硅中陰陽離子的測定
碳化硅(SiC)又名金剛砂,是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑等原料通過電阻爐高溫冶煉而成。目前中國工業生產的碳化硅分為黑色碳化硅和綠色碳化硅兩種,均為六方晶體。碳化硅有化學性能穩定、導熱系數高、熱膨脹系數小、耐磨性能好等特點,高純度碳化硅可制造半導體和碳化硅纖維。碳化硅中的雜質陰陽離子會對其性能產生影響,需要進行檢測以提高純化技術。
色譜條件
(1)常規陰離子
分析柱:SH-G-1+SH-AC-11
流動相:10 mM KOH(EG)
流速:1.0 mL/min
柱溫:45℃
抑制器:SHY-A-6
進樣體積:25 μL
前處理:樣品稀釋適當倍數過 0.22 μm 一次性針頭過濾器和銀-鈉柱進樣分析。
碳化硅提取液中陰離子譜圖
(2)陽離子
分析柱:SH-G-1+SH-CC-3L
流動相:5.5 mM 甲烷磺酸
流速:1.0 mL/min
柱溫:35℃
抑制器:SHY-C-3
進樣體積:25 μL
前處理:樣品稀釋適當倍數過 0.22 μm 一次性針頭過濾器進樣分析。
碳化硅提取液中陽離子譜圖
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